半導体CNC加工

半導体 CNC 加工では、清浄度、寸法精度、表面品質を厳密に管理する必要があります。当社は、真空、シール、高精度組み立て要件を満たす半導体装置用のカスタム機械加工部品を提供しています。{{1}

19 台の 4 軸機械を含む 20 台の CNC マシニング センターを備え、アルミニウム合金、ステンレス鋼、エンジニアリング プラスチック、および半導体装置で一般的に使用されるその他の材料を加工できます。-標準的な精密加工公差は ±0.05 mm 以内に制御でき、重要なシール面と取り付け穴はさらに ±0.025 mm まで制御できます。表面粗さは Ra0.8 μm に達する場合があり、これらの部品は真空チャンバー、トレイ、高清浄度アセンブリ部品に適しています。-

真空チャンバー、ガス分配プレート、ウエハートレイ、ロボットアーム治具、検査治具などの半導体装置部品に適しています。